特許
J-GLOBAL ID：200903021654155995
静電容量式センサー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
辻本 一義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-111691
公開番号（公開出願番号）：特開平6-324801
出願日： 1993年05月13日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：
【要約】【目的】 高感度で且つ雰囲気温度によって感度が変化しない静電容量式センサーを提供すること。【構成】 片面に電極部Cを有する基板1と、前記基板1と対向配設され且つ片面に90°角度間隔で配置された電極部Cx+,Cx-,Cy+,Cy-を有する基板2と、前記基板1,2のうち少なくともどちらか一方に設けられた入力部Jとを具備し、電極部C及び電極部Cx+,Cx-,Cy+,Cy-をそれぞれ熱膨張率の小さい非導電性薄膜4で被覆すると共に、前記電極部C側の非導電性薄膜4と電極部Cx+,Cx-,Cy+,Cy-側のそれとを圧接させるべく基板1,2の少なくとも一方を付勢したものとしている。
請求項（抜粋）：
片面に電極部(C)を有する基板(1)と、前記基板(1)と対向配設され且つ片面に90°角度間隔で配置された電極部(Cx+)(Cx-)(Cy+)(Cy-)を有する基板(2)と、前記基板(1)(2)のうち少なくともどちらか一方に設けられた入力部(J)とを具備し、電極部(C)及び電極部(Cx+)(Cx-)(Cy+)(Cy-)をそれぞれ熱膨張率の小さい非導電性薄膜(4)で被覆すると共に、前記電極部(C)側の非導電性薄膜(4)と電極部(Cx+)(Cx-)(Cy+)(Cy-)側のそれとを圧接させるべく基板(1)(2)の少なくとも一方を付勢していることを特徴とする静電容量式センサー。
IPC (3件)：
G06F 3/033 330
, G01B 7/30
, G01D 5/24
