静電容量式力センサー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：辻本一義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-000540
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201491
出願日： 1993年01月06日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：

【要約】【目的】ゴミ等の影響を受けにくく且つ嵩の低い静電容量式力センサーを提供すること。【構成】中央部に軸部10を有した平板状の電極板1とこの電極板1と対向する平板状の電極板3との間の各位置のギャップの変化によって生じる静電容量変化により、上記軸部10に作用している外力の大きさ及び方向が検出できる力センサーであって、前記電極板1と電極板3との間に薄い弾性体2をこれらに密着させる態様で介在させてある。

請求項（抜粋）：

中央部に軸部(10)を有した平板状の電極板(1)とこの電極板(1)と対向する平板状の電極板(3)との間の各位置のギャップの変化によって生じる静電容量変化により、上記軸部(10)に作用している外力の大きさ及び方向が検出できる力センサーであって、前記電極板(1)と電極板(3)との間に薄い弾性体(2)をこれらに密着させる態様で介在させてあることを特徴とする静電容量式力センサー。

引用特許：

審査官引用 (12件)

特許第4719538号
特開平3-123814
特開平3-123814

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