特許
J-GLOBAL ID：200903021656962430
露光方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-333146
公開番号（公開出願番号）：特開平8-202045
出願日： 1994年12月13日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】【目的】 ホトマスクとして液晶表示基板を装着した露光装置を用いて露光する場合において、液晶表示基板のブラックマスク部(画素同士間の透光し得ないマトリクス電極部)によるノイズ的影響を緩和して良好に露光する。【構成】 光源の超高圧水銀ランプ5からの光線は、防熱フイルタ6、第1コンデンサレンズ7、シャッター8、フィルタ9、ミラー10、第2コンデンサレンズ11、エリア決め用マスク12を経て、ホトマスクとしての液晶表示基板13(液晶レチクル)に照射され、そして、液晶表示基板13の表示コードを得た光線は、縮小レンズ14を経て被露光体4に露光されるが、その際、被露光体4にぼかし状態に結像又は露光箇所を変位させた状態で露光される。
請求項（抜粋）：
ホトマスクとして液晶表示基板を装着した露光装置を用いての露光方法において、光源からの光線を前記液晶表示基板に照射するコンデンサレンズを、正規の焦点位置と異なる位置に移動せしめて被露光体にぼかし状態に結像して露光することを特徴とする露光方法。
IPC (2件)：
G03F 7/20 521
, H01L 21/027
