特許

J-GLOBAL ID：200903021662237542

ボート

発明者： 上野 正昭 ,  保坂 英二
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-221897
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054448
出願日： 1997年08月04日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】半導体製造装置に於いて、反応管内の温度を短時間で均一化する。【解決手段】反応管16と該反応管を囲繞し複数の発熱部を有するヒータ17とを有する反応炉に挿脱されるウェーハ保持用のボート14に於いて、最上部に炉内温度変化を抑える為の断熱板35を設ける様構成したことにより、炉内に前記ボートを装入する際のオーバーシュートの発生時間を短くし、発生量を抑制する。

請求項（抜粋）：

反応管と該反応管を囲繞し複数の発熱部を有するヒータとを有する反応炉に挿脱されるウェーハ保持用のボートに於いて、最上部に炉内温度変化を抑える為の断熱板を設けたことを特徴とするボート。

IPC (4件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/22 511 G ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 F ,  H01L 21/68 N