プラズマ処理終了点判定方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-128675
公開番号（公開出願番号）：特開平10-321601
出願日： 1997年05月19日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】本発明は、プラズマ光取り込み用窓の汚れやプラズマ光のチラツキなどに影響されず、かつ移動平均を複数回用いる場合の時間遅れや信号変化が微小な場合の影響を抑え、高精度にエッチング終了点などのプラズマ処理終了点を判定する。【解決手段】反応チャンバ1内でプラズマを発生させるための高周波回路中の反射電力をモニタ12で測定し、この反射電力の測定信号をコンピュータ14の加重移動平均部15で中位数フィルタを通してガウス分布による加重移動平均し、判定部16でこの値の2次微分値を求めて予め設定された閾値と比較することによりエッチング処理終了点を判定する。

請求項（抜粋）：

反応チャンバ内にプラズマを発生させて被処理体を処理するときのプラズマ処理終了点を判定するプラズマ処理終了点判定方法において、前記プラズマを発生させるための回路中の物理量を測定し、この物理量の時間経過に対する変曲点に基づいてプラズマ処理終了点を判定することを特徴とするプラズマ処理終了点判定方法。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 , C23F 4/00 , H05H 1/46

FI (3件)：

H01L 21/302 E , C23F 4/00 F , H05H 1/46 B

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