特許
J-GLOBAL ID：200903021688104656
線状電極の欠陥検出方法および欠陥検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
志村 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-082345
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270476
出願日： 1994年03月29日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 線状電極の断線を効率的に検出する。【構成】 線状電極E1〜E5の断線を調べるため、プローブ電極P1〜P4を立体交差させて配置する。線状電極E1〜E5とプローブ電極P1〜P4との各交差点は、容量結合する。各線状電極E1〜E5の右端はアースショートバー30により接地される。線状電極E3の中央ハッチング部を検査するには、電圧供給用選択回路40を切り替えることにより、線状電極E3の左端に交流電源Gからの交流電圧を印加する。このとき、電圧検出用選択回路50を切り替えることにより、プローブ電極P2,P3に誘起される電圧の差を差動増幅器63で求める。プロセッサ73は、電圧の差がなければ、断線なしと判断し、電圧の差があれば、断線ありと判断する。電圧供給用選択回路40および電圧検出用選択回路50の操作により、全線状電極E1〜E5の全区間についての断線検出ができる。
請求項（抜粋）：
所定方向に伸びた線状電極についての欠陥を検出する方法であって、前記線状電極の検出対象区間の両側位置に、第1のプローブ電極および第2のプローブ電極を、それぞれ前記線状電極との間に所定間隔をあけて配置し、前記線状電極の一端を基準電圧に固定し、他端に抵抗素子を介して交流電圧を印加したときに、前記第1のプローブ電極に誘起される電圧と前記第2のプローブ電極に誘起される電圧との差を求め、この差に基づいて前記検出対象区間における欠陥の有無を検出することを特徴とする線状電極の欠陥検出方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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