特許
J-GLOBAL ID：200903021690455490
搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石川 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-000669
公開番号（公開出願番号）：特開平10-193288
出願日： 1997年01月07日
公開日（公表日）： 1998年07月28日
要約：
【要約】【課題】 簡単な構造で剛性が高く、かつ大型化が可能な3軸搬送装置を提供する。【解決手段】 アーム機構部、アーム駆動部、及び上下駆動部からなり、上記アーム機構部は、2本のアーム部材を連結したものを左右一対設け、その先端部と根元部にもうけた各一対のピニオンギヤを介して左右対称形に連動させ、パンタグラフ式に伸縮させる機構とし、上記アーム駆動部は、上記アーム機構部の一対の根元軸受部材を第1駆動装置によって鉛直軸のまわりに旋回させる旋回駆動部と、上記アーム機構部の根元部のピニオンギヤのうちの1個を第2駆動装置によって回動駆動するアーム伸縮駆動部とから構成し、上記上下駆動部は、上記アーム駆動部を第3駆動装置によって上下駆動する。
請求項（抜粋）：
アーム機構部、アーム駆動部、及び上下駆動部からなり、上記アーム機構部は、先端部材と、同先端部材のアーム伸縮方向線に対して対称な位置にそれぞれの一端が回動可能にピン結合された一対の水平な第1アーム部材と、同各第1アーム部材の上記ピン結合側の端部に固定され互いに噛み合う一対のピニオンギヤと、上記各第1アーム部材の他端部にそれぞれの一端が回動可能にピン結合された一対の水平な第2アーム部材と、同各第2アーム部材の他端部にそれぞれ設けられた回動軸と、同各回動軸を回動可能に支持する一対の軸受部材と、同一対の軸受部材が上記アーム伸縮方向線に対して対称な位置で外側部に固定され下端部にピニオンギヤを備えた第1中空軸と、上記各第2アーム部材の上記回動軸側の端部に固定され互いに噛み合う一対のピニオンギヤとからなり、上記アーム駆動部は、上部部材と下部部材とを備えたアーム駆動部構造体と、同構造体の上部部材の中央部から鉛直上方に突出し上記第1中空軸をその外側部で旋回可能に保持する筒状部材と、鉛直方向の回転軸を備え上記アーム駆動部構造体に保持された第1駆動装置と、同回転軸に設けられ上記第1中空軸下端部のピニオンギヤに噛み合いそれを旋回駆動するピニオンギヤと、上端部に上記第2アーム部材の一方のものに設けられたピニオンギヤに噛み合う頂部ピニオンギヤを備え下端部に下部ギヤを備え上記アーム駆動部構造体中央の筒状部材の内側に回転可能に保持された第2中空軸と、鉛直方向の回転軸を備え上記アーム駆動部構造体に保持された第2駆動装置と、同回転軸に設けられ上記第2中空軸の下部ギヤに噛み合いそれを回動駆動するピニオンギヤと、上記アーム駆動部構造体の下部部材の中央に設けられたボールナットと、上記アーム駆動部構造体の周囲部に固定され下方へ伸びる鉛直な棒状のリニヤガイドとからなり、上記上下駆動部は、上記アーム駆動部構造体の下方に設けられ、上記アーム駆動部構造体の各リニヤガイドが挿通される鉛直方向の穴を備えたリニヤガイドブッシュと、鉛直方向の回転軸を備えた第3駆動装置と、下端が同回転軸に連なり上端が上記アーム駆動部構造体のボールナットに嵌装されているボールネジとからなることを特徴とする搬送装置。
IPC (4件)：
B25J 9/06
, B25J 18/02
, H01L 21/68
, C23C 16/44
B25J 9/06 A
, B25J 18/02
, H01L 21/68 A
, C23C 16/44 F
