特許

J-GLOBAL ID：200903021698598371

不透明石英ガラス円筒の製造方法

発明者： 小野 幸一 ,  津久間 孝次
出願人/特許権者： 東ソー株式会社 ,  日本石英硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-336991
公開番号（公開出願番号）：特開平10-167742
出願日： 1996年12月17日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：

【要約】【構成】本発明の目的は、この様な課題を解決する新規な不透明石英ガラスからなる円筒を製造する方法を提供することにある。【解決手段】窒化ケイ素粉末が10〜500ppm添加混合された平均粒子径10〜500 μmの結晶質石英等のシリカ粉末を黒鉛質カ-ボンで構成される円筒形状空間に充填し、さらに充填粉末に上から5g/cm2 以上の荷重を加えた状態で、真空雰囲気中、1750°C〜1900°Cに加熱し、平均気泡径10〜100 μmの範囲にある独立気泡を 3×105 個/cm3 以上含み、カサ密度が1.80〜2.08g/cm3 の不透明石英ガラスからなる円筒を製造する方法、及び、充填シリカ粉末と円筒形状構成黒鉛質カ-ボンとの接触面部分に黒鉛質カ-ボン繊維からなるカサ密度が0.1 〜 0.5g/cm3 のフェルトを介在させることを特徴とする不透明石英ガラスからなる円筒を製造する方法。

請求項（抜粋）：

窒化ケイ素粉末が10〜500ppm添加混合された平均粒子径10〜500μmのシリカ粉末を黒鉛質カ-ボンで構成される円筒形状空間に充填し、さらに充填粉末に上から5g/cm2 以上の荷重を加えた状態で、真空雰囲気中、1750°C〜1900°Cに加熱し、平均気泡径10〜100 μmの範囲にある独立気泡を 3×105個/cm3 以上含み、カサ密度が1.80〜2.08g/cm3 の不透明石英ガラスからなる円筒を製造する方法。

IPC (2件)：

C03B 20/00 ,  H01L 21/22 501

FI (2件)：

C03B 20/00 ,  H01L 21/22 501 M