特許

J-GLOBAL ID：200903021705272428

欠陥検査方法

発明者： 山下 恭司
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-284142
公開番号（公開出願番号）：特開2000-113189
出願日： 1998年10月06日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】 比較検査の感度の調整、つまり所望の大きさの欠陥を検出するように調整する作業を自動化すること。【解決手段】 本発明は、予め欠陥の大きさと位置をプログラムして作製した標準試料を用いて所望の大きさの欠陥を検出するように欠陥検出感度を調整する工程を備えている。本発明により、作業者の手作業に頼った、時間がかかるジョブであった、比較検査の感度の調整、つまり所望の欠陥サイズを検出するように調整する作業を自動化することが可能となる。

請求項（抜粋）：

露光に供されるパタンが形成された、試料上の欠陥を検出する欠陥検査方法において、予め標準試料として欠陥の大きさと位置をプログラムして作製する工程と、前記標準試料の欠陥の大きさと位置の情報を入力する工程と、欠陥判定パラメータを変更する工程と、欠陥を検出する工程と、真の欠陥か否か確認する工程と、欠陥検出率と誤検出率を導出する工程と、前記欠陥検出率と誤検出率が所望の範囲にあるかを判定する工程と、前記欠陥判定パラメータを出力する工程を備えてなることを特徴とする欠陥検査方法。

IPC (5件)：

G06T 7/00 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G06F 15/62 405 A ,  G01B 11/30 C ,  G03F 1/08 S ,  H01L 21/66 J ,  G01N 21/88 645 A

Fターム (42件)：

2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC18 ,  2F065CC19 ,  2F065DD00 ,  2F065FF04 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR03 ,  2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC03 ,  2H095BD04 ,  2H095BD26 ,  2H095BD28 ,  4M106AA01 ,  4M106AA09 ,  4M106BA04 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ13 ,  4M106DJ14 ,  4M106DJ15 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ39 ,  5B057AA03 ,  5B057BA23 ,  5B057DA03 ,  5B057DC02 ,  5B057DC33 ,  5B057DC36 ,  5B057DC40