特許
J-GLOBAL ID：200903021717380684
結晶製造方法及び製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-082658
公開番号（公開出願番号）：特開平10-279378
出願日： 1997年04月01日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、屈折率均質性、歪みのない光学特性の優れた結晶の製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。【解決課題】 ルツボと、前記ルツボの底面に具備されるルツボ引き下げ棒と、前記ルツボの側面に前記ルツボと間隔を設け配置されるヒーターと、前記ルツボと前記ヒーターに間隔を設け且つ前記間隔に配置される均熱用壁を有する結晶成長装置において、前記均熱用壁の長手方向の長さはルツボの長手方向の長さよりも長いことを特徴とする。また、ヒーターによりルツボを加熱しルツボ内の原料を溶融させた後、ルツボをヒーター外に徐々に降下させ、ヒーター下端近傍までルツボ下部より溶融液を結晶化させるルツボ降下法において、前記ヒーターと前記ルツボの間に、長手方向が前記ルツボよりも長い均熱用壁を設け、前記溶融液が結晶化した後も前記結晶化した部分を前記均熱用壁で囲まれた空間を移動させることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ルツボと、前記ルツボの底面に具備されるルツボ引き下げ棒と、前記ルツボの側面に前記ルツボと間隔を設け配置されるヒーターと、前記ルツボと前記ヒーターに間隔を設け且つ前記間隔に配置される均熱用壁を有する結晶成長装置において、前記均熱用壁の長手方向の長さはルツボの長手方向の長さよりも長いことを特徴とする結晶製造装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C30B 11/00 Z
, C30B 11/00 C
, C30B 29/12
