特許

J-GLOBAL ID：200903021720985643

磁力を利用した研磨機構

発明者： 丹内 一昭
出願人/特許権者： 株式会社ゼビオス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-230833
公開番号（公開出願番号）：特開2001-025958
出願日： 1999年07月13日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】 従来の研磨加工装置では、研磨物に加える圧力、回転力の機構駆動源として、エアシリンダーやモーターを採用しているため、動作部から発生する摺動、摺動、転がり抵抗や配管等の膨張、収縮などの不覚的要素による研磨平面精度の再現性不足と複雑な機構構成を改善する。【課題を解決するための手段】対になる加圧制御磁界発生器1の向かい合う側を同極にし双方もしくは、片方に印加する電流を制御することにより発生する反発力で研磨物保持部3が保持する研磨物4を研磨定盤5に接触させる。また、回転制御磁界発生器2は、加圧制御磁界発生器1と研磨物保持部5を接続する軸上に取る付けることで、発生する回転力は研磨物保持部3に伝達され、研磨物4は、研磨定盤に対し回転力と接触力が加わり研磨加工条件を実現する。

請求項（抜粋）：

研磨加工に必要とされる研磨物に加える圧力ならび回転力を磁界発生器の特性を利用し構成する研磨機構。

IPC (3件)：

B24B 37/00 ,  B24B 47/12 ,  H02K 7/09

FI (3件)：

B24B 37/00 B ,  B24B 47/12 ,  H02K 7/09

Fターム (21件)：

3C034AA07 ,  3C034BB01 ,  3C034BB22 ,  3C034BB28 ,  3C034CB04 ,  3C034CB07 ,  3C034DD20 ,  3C058AA09 ,  3C058AB04 ,  3C058BA02 ,  3C058BA05 ,  3C058BA09 ,  3C058BB02 ,  3C058BC01 ,  3C058DA17 ,  5H607BB01 ,  5H607CC01 ,  5H607DD02 ,  5H607DD03 ,  5H607FF01 ,  5H607GG21