特許
J-GLOBAL ID:200903021721735225
インクジェット用ノズルプレートの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
稲元 富保
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-136589
公開番号(公開出願番号):特開平8-323984
出願日: 1995年06月02日
公開日(公表日): 1996年12月10日
要約:
【要約】【目的】 インク滴噴射特性に優れたインクジェット用ノズルプレートを提供する。【構成】 ノズルプレート形成部材の表面に親インク性処理を施した後、液体フォトレジスト32を塗布し、露光、現像を行って吐出口周辺部にフォトレジストを用いたマスキングを形成し、次いで撥インク性処理を施す。
請求項(抜粋):
インクを吐出する吐出口周辺部に親インク性領域を形成し、この親インク性領域の周囲に撥インク領域を形成したインクジェット用ノズルプレートの製造方法において、ノズルプレート形成部材の表面に親インク性処理を施した後、液体フォトレジストを塗布し、露光、現像を行って前記吐出口周辺部に前記フォトレジストを用いたマスキングを形成し、次いで撥インク性処理を施すことを特徴とするインクジェット用ノズルプレートの製造方法。
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