特許
J-GLOBAL ID：200903021727153988
X線検出器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
寒川 誠一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-008431
公開番号（公開出願番号）：特開平6-214028
出願日： 1993年01月21日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 放射状に被検査物体に照射されたX線を、高感度に、且つ、高分解能をもって検出することができ、その結果、X線を用いたプリント基板検出装置の検査精度や検査効率を向上することができるX線検出器を提供することを目的とする。【構成】 被検査物体を透過したX線の一部を通すスリットを有する遮光板と、スリットを通ったX線の面に直交する方向に配置されたシンチレーションファイバが積層されて構成されたシンチレーションファイバプレートと、シンチレーションファイバプレートにおける画像を撮像する撮像手段と、この撮像された画像における、上記の入射したX線の軌跡に対応するシンチレーションファイバ中の発光量を積算する発光量演算手段とを有する。
請求項（抜粋）：
放射状に被検査物体に照射されたX線を検出するX線検出器において、前記被検査物体を透過したX線の一部を通すスリット(11)を有する遮光板(1)と、前記スリット(11)を透過したX線の面に直交する方向に配置されたシンチレーションファイバ(21)が積層されて構成されたシンチレーションファイバプレート(2)と、該シンチレーションファイバプレート(2)における画像を撮像する撮像手段(3)と、該撮像手段(3)によって撮像された画像における、入射したX線の軌跡に対応するシンチレーションファイバ(21)中の発光量を積算する発光量演算手段(4)とを有することを特徴とするX線検出器。
IPC (3件)：
G01T 1/00
, G01T 1/20
, G03B 42/02
