特許
J-GLOBAL ID：200903021731436765

フォトレジスト現像剤におけるアルキル化したポリアミンの使用

発明者：
ケビン ロドニー ラッシラ

ケビン ロドニー ラッシラ について

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クリステン エレイン ミニッチ

クリステン エレイン ミニッチ について

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リチャード バン コート カー

リチャード バン コート カー について


出願人/特許権者：
エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド

エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-001755
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194777
出願日： 2001年01月09日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、平衡および動的表面張力を低下させるフォトレジスト現像剤用/エレクトロニクス洗浄用の水性組成物を提供する。【解決手段】 化学構造IもしくはII【化1】(ここでRおよびR′は独立してC5〜C8のアルキルであり、GはC1〜C4アルキル置換基を含んでいてもよい、C2〜C6の線状もしくは環状アルキレン基であり、mは2〜6、そしてnは2もしくは3である。)で表わされるジアルキルポリアミン化合物を界面活性剤として有効量配合してなる。
請求項（抜粋）：
界面活性剤を有する水性フォトレジスト現像剤組成物において、界面活性剤として、化学構造IもしくはII【化1】(ここで、RおよびR′は独立してC5〜C8のアルキルであり、GはC1〜C4アルキル置換基を含んでいてもよい、C2〜C6の線状もしくは環状アルキレン基であり、mは2〜6、そしてnは2もしくは3である。)で表わされるジアルキルポリアミン化合物を使用することを含むことを特徴とする現像剤組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/004 504 ,  G03F 7/32 ,  H01L 21/027 ,  C07C211/09 ,  C07C211/14 ,  C07C211/36
FI (6件)：
G03F 7/004 504 ,  G03F 7/32 ,  C07C211/09 ,  C07C211/14 ,  C07C211/36 ,  H01L 21/30 569 E
引用特許：
審査官引用 (4件)
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