特許

J-GLOBAL ID：200903021734303049

ウェハステージ及びウェハプロービング装置

発明者： 佐野 日隅
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-095046
公開番号（公開出願番号）：特開平7-302830
出願日： 1994年05月09日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】反りの生じたウェハを確実に吸着保持できるようにして、ウェハプロービング時、ウェハと電極針間の相対的な位置関係が損なわれたり、ウェハが破損したりしないようにする。【構成】ウェハステージを複数個のサブステージ1、2に分割して構成する。中央に設けたサブステージ1を基準として、その周辺に複数のサブステージ2、2を配置する。この複数の周辺サブステージ2、2は、そのステージ面の方向を自由に変えられる機構をもつ。また、中央のサブステージ1に対し、それぞれ独立に上下動できるとともに、その上下位置が固定できる機構をもつ。

請求項（抜粋）：

ウェハの形状に対応するように複数のサブステージに分割したことを特徴とするウェハステージ。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66 ,  B23Q 3/02