特許
J-GLOBAL ID：200903021748057890
振動型ジャイロスコープ、及び振動型ジャイロスコープの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-288716
公開番号（公開出願番号）：特開2006-105614
出願日： 2004年09月30日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：
【課題】 質量の除去装置を用いて除去できる最低除去量を可変し、それぞれの固有共振周波数の粗調整と微調整を行うことができる、振動型ジャイロスコープ、及び振動型ジャイロスコープの製造方法を提供する。【解決手段】 本発明の振動型ジャイロスコープの圧電振動片10は、基部12から相反する方向に延出された連結アーム13,14と、連結アーム13,14のそれぞれの先端に連結アーム13,14と直交する方向に延出された駆動アーム15A,15B,15C,15Dと、基部12から連結アーム13,14と直交する方向に延出された検出アーム16A,16Bとが形成されている。駆動アーム15A,15B,15C,15D、及び検出アーム16A,16Bのそれぞれの先端部には,錘層18,20と電極膜17とから形成された質量調整用の調整部である第一錘部19と第二錘部23とが形成されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
圧電振動片に加えられる回転の回転角速度を検出する振動型ジャイロスコープであって、
前記圧電振動片は、
基部と、
前記基部から延出された支持梁を介して設けられ、所定の振動を行う駆動部と、
前記基部から前記駆動部と同一平面内に延出され、前記駆動部の回転に伴うコリオリ力によって生じた検出振動を検出する検出部と、
前記駆動部の略先端部分に形成された前記圧電振動片の特性調整用の第一錘部と、
前記検出部の略先端部分に形成された前記圧電振動片の特性調整用の第二錘部と、を有し、
前記第一錘部及び第二錘部の少なくとも一方が、単位面積当たりの質量の異なる複数の調整部で形成されていることを特徴とする振動型ジャイロスコープ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
2F105AA08
, 2F105BB07
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD13
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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