特許

J-GLOBAL ID：200903021752961916

レーザ顕微鏡

発明者： 藤本 洋久 ,  北原 章広
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-079584
公開番号（公開出願番号）：特開2003-279857
出願日： 2002年03月20日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：

【要約】【課題】本発明は、試料の高さ測定を確実に行なうことができるレーザ顕微鏡を提供する。【解決手段】レーザ光源1からのレーザ光を対物レンズ7を介して試料8に照射し、試料8からの反射光を光検出器11で検出すると、この光検出器11による検出出力の微分値と、予め基準設定部141に設定されたノイズの微分値を比較部142で比較して光検出器11の検出出力を高さ情報と判断し、この比較部142の判断結果から高さ情報と判断されたときの検出出力の最高輝度値より試料8上の焦点位置情報を求める。

請求項（抜粋）：

レーザ光源からのレーザ光を対物レンズを介して試料に照射し、前記試料からの反射光を光検出器で検出するとともに、該検出出力に基づいて前記試料上の焦点位置情報を求めるレーザ顕微鏡において、予めノイズの微分値を設定した微分値設定手段と、前記光検出器による検出出力の微分値と前記設定手段に設定された微分値を比較して前記光検出器の検出出力を高さ情報と判断する比較手段と、この比較手段の判断結果から前記高さ情報と判断されたときの前記検出出力の最高輝度値より前記試料上の焦点位置情報を求める手段とを具備したことを特徴とするレーザ顕微鏡。

IPC (4件)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/00 ,  G02B 7/28 ,  G02B 7/36

FI (5件)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/00 B ,  G02B 7/11 N ,  G02B 7/11 J ,  G02B 7/11 D

Fターム (39件)：

2F065AA06 ,  2F065AA12 ,  2F065AA24 ,  2F065DD04 ,  2F065DD09 ,  2F065GG04 ,  2F065LL00 ,  2F065LL07 ,  2F065LL09 ,  2F065LL13 ,  2F065LL28 ,  2F065MM02 ,  2F065MM11 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR06 ,  2H051AA11 ,  2H051BA47 ,  2H051CD25 ,  2H051CD30 ,  2H051CE07 ,  2H051CE16 ,  2H051DB02 ,  2H051DB10 ,  2H052AA08 ,  2H052AB06 ,  2H052AB24 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC29 ,  2H052AC34 ,  2H052AD09 ,  2H052AF06 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21