特許

J-GLOBAL ID：200903021755759468

走査光学系ビーム測定装置及び走査光学系ビーム測定方法

発明者： 高田 将人 ,  吉田 芳博
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-174389
公開番号（公開出願番号）：特開2002-365578
出願日： 2001年06月08日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：

【要約】【課題】 本発明はビームの小径化による高解像度化、回転多面鏡の回転の高速化、マルチビーム化に対応する走査光学系ビーム測定装置及び走査光学系ビーム測定方法を提供すること。【解決手段】 ホストPC17が走査ビーム2を間引き測定し、この間引き測定で得られたビーム情報に基づいて、ステージコントローラ16が受光面12a内の一定領域に走査ビーム2を照射するように位置決め制御し、画像処理部18が前記ビーム情報を算出する手段を有したこと。

請求項（抜粋）：

回転多面鏡に反射する走査ビームを検知するフォト・ダイオードからの撮像トリガを制御する撮像トリガ制御手段に制御され、受光面内で画像情報を検出する光検出手段と、前記受光面を書込みユニットに対して相対的に移動、位置決め制御する位置決め手段と、この位置決め手段を管理して前記受光面内の受光領域を選択する受光領域選択手段と、前記受光領域からビーム情報を算出する画像演算手段とを備え、前記領域選択手段が前記走査ビームを間引き測定し、この間引き測定で得られた前記ビーム情報に基づいて、前記位置決め手段が前記受光面内の一定領域に前記走査ビームを照射するように位置決め制御し、前記画像演算手段が前記ビーム情報を算出する手段を有したことを特徴とする走査光学系ビーム測定装置。

IPC (4件)：

G02B 26/10 ,  B41J 2/44 ,  G01B 11/00 ,  H04N 1/113

FI (4件)：

G02B 26/10 Z ,  G01B 11/00 H ,  B41J 3/00 D ,  H04N 1/04 104 A

Fターム (48件)：

2C362AA20 ,  2C362AA53 ,  2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA17 ,  2F065AA19 ,  2F065AA21 ,  2F065AA31 ,  2F065BB16 ,  2F065BB25 ,  2F065CC21 ,  2F065FF04 ,  2F065FF44 ,  2F065FF61 ,  2F065FF67 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL10 ,  2F065LL15 ,  2F065LL62 ,  2F065MM15 ,  2F065NN20 ,  2F065PP03 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR05 ,  2F065RR06 ,  2F065RR09 ,  2H045CA82 ,  2H045DA31 ,  2H045DA41 ,  5C072AA03 ,  5C072BA03 ,  5C072BA16 ,  5C072HA01 ,  5C072HA06 ,  5C072HA13 ,  5C072HA16 ,  5C072HB08 ,  5C072UA13 ,  5C072XA01 ,  5C072XA05