特許
J-GLOBAL ID：200903021758902113
縮小投影レンズ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-079896
公開番号（公開出願番号）：特開平11-339708
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】 電磁レンズの軸上磁場を矩形分布にできる電子線縮小転写装置用の縮小投影レンズを提供する。【解決手段】 本発明は、マスク1を通過してパターン化された電子線を感応基板(試料)19上に縮小投影結像させる縮小投影レンズについてのものである。同レンズは、円柱形状のフェライトスタック25と、該フェライトスタック25の上端に設けられたリング状の上フェライト磁極7と、該フェライトスタック25の下端に設けられたリング状の下フェライト磁極10と、を具備する。上フェライト磁極7及び下フェライト磁極10それぞれの内径をフェライトスタック25の内径より小さくする。これにより、電磁レンズの軸上磁場を矩形分布に近いものにすることができる。
請求項（抜粋）：
マスクを通過してパターン化された電子線を感応基板上に縮小投影結像させる縮小投影レンズであって;中空円筒形の磁気シールド部材と、該磁気シールド部材の上端に設けられたリング状の上磁極と、該磁気シールド部材の下端に設けられたリング状の下磁極と、を具備し、該上磁極及び該下磁極それぞれの内径が、上記磁気シールド部材の内径より小さいことを特徴とする縮小投影レンズ。
IPC (4件)：
H01J 37/141
, G03F 7/20 504
, H01J 37/305
, H01L 21/027
H01J 37/141 A
, G03F 7/20 504
, H01J 37/305 B
, H01L 21/30 541 A
