特許
J-GLOBAL ID：200903021759731835
固体撮像装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-265391
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106537
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 クリアモールド実装等の場合においても、レンズ効果が消失しないようなマイクロレンズを正確に且つクラックが発生せず容易に形成することが可能な固体撮像装置の製造方法を提供する。【構成】 半導体基板1にフォトダイオード2を形成したのち、P濃度を上層ほど高くした3層のPSG膜3-1,3-2,3-3からなる薄膜3を全面に形成する。次いでレジスト膜4を表面に塗布したのちフォトダイオード部分に開口部5を形成し、ウェットエッチング法により薄膜3中に凹部6を形成する。次いで薄膜3より屈折率の高いTiを含むSOG材料を熱処理を含めて多数回塗布して、前記凹部6を完全に埋め込んだ薄膜7を形成し、マイクロレンズを形成する。
請求項（抜粋）：
半導体基板の表面領域にマトリクス状に配設された複数の光電変換素子と、前記半導体基板上の前記各光電変換素子に対応する部分に入射光を収束するマイクロレンズをそれぞれ備えた固体撮像装置の製造方法において、前記半導体基板上に上層ほどエッチングレートが大なる2層以上の多層膜からなる第1の透明膜を形成し、レジストパターニング後にエッチング処理により第1の透明膜の上部にマイクロレンズ用の凹部を形成し、次いで凹部を形成した第1の透明膜上に、該第1の透明膜より屈折率の高い金属種を含むSOG材料をスピンコートすることにより第2の透明膜を形成して、マイクロレンズを形成することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
IPC (2件)：
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