特許

J-GLOBAL ID：200903021769402260

単結晶引上装置

発明者： 喜田 道夫 ,  佐藤 武 ,  佐平 健彰
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 桑井 清一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-093410
公開番号（公開出願番号）：特開平5-270974
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月19日
要約：

【要約】【目的】 シリコン単結晶棒にくびれを形成することなくシリコン単結晶棒を支持することができる機構を備えた単結晶引上装置を提供する。【構成】 シリコン融液4を保持する石英坩堝3を回転、昇降自在に設ける。このシリコン融液4から、その半径が略一定のシリコン単結晶棒40を引き上げる引上機構6を設ける。この引上機構6と連動し単結晶棒40を支持する保持機構20を設ける。この保持機構20は、単結晶棒の長さ方向に延在する結晶係合装置21と、単結晶棒40のボディ面41を係止し、単結晶棒40を支持する下フック27と、結晶係合装置21の一部に回動自在に設けられ、引上機構6の昇降用リング18に連動し、上槓杆25,下槓杆26のてこ運動を介して下フック27を動作させる上フック24と、を有する。

請求項（抜粋）：

結晶融液を保持する坩堝と、この結晶融液からその半径が略一定の単結晶棒を引き上げる引上機構と、この引上機構と連動し上記単結晶棒を支持する保持機構と、を備えた単結晶引上装置において、上記保持機構は、上記単結晶棒の側壁に係合して、この単結晶棒を支持する第1てこユニットと、上記引上機構に連動し、上記第1てこユニットを動作させる第2てこユニットと、を有することを特徴とする単結晶引上装置。

IPC (2件)：

C30B 15/30 ,  C30B 15/32