特許
J-GLOBAL ID：200903021770708071
磁気ヘッドの検査方法及び検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-260417
公開番号（公開出願番号）：特開2001-082937
出願日： 1999年09月14日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：
【要約】【課題】 HGAでの磁気ヘッドの姿勢や浮上面レール部の表面幾何形状寸法を高精度にかつ効率良く測定できる検査方法及び検査装置を提供する。【解決手段】 サスペンションの一端に組付けた磁気ヘッドの浮上面に可干渉性の光を集光し、浮上面レール部表面を経る光路長を調整して干渉縞を現出させ、浮上面レール部表面の幾何形状が所定精度で測定可能な程度の所定縞本数となるよう光学参照面と浮上面とを相対的に傾斜させて傾斜角度を測定し、この時の干渉縞を撮像して干渉縞解析手法により浮上面レール部表面の幾何形状の寸法を測定するとともに、前記幾何形状の寸法の一つである浮上面の傾き角度と前記傾斜角度とをもとに光学参照面に対する磁気ヘッド姿勢角度を算出する。
請求項（抜粋）：
磁気ヘッド浮上面に可干渉性の光を集光し、浮上面を経る光路長を調整して干渉縞を現出させ、浮上面の幾何形状が測定可能な程度の所定縞本数となるよう光学参照面と浮上面とを相対的に傾斜させて傾斜角度を測定し、干渉縞を撮像して干渉縞解析手法により光学参照面に対する浮上面の傾き角度を算出し、前記傾斜角度と浮上面の傾き角度をもとに光学参照面に対する磁気ヘッド姿勢角度を算出することを特徴とする磁気ヘッドの検査方法。
Fターム (17件)：
2F065AA35
, 2F065AA37
, 2F065AA54
, 2F065CC37
, 2F065DD00
, 2F065FF01
, 2F065FF52
, 2F065GG02
, 2F065HH03
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL12
, 2F065LL46
, 2F065MM07
, 2F065QQ29
, 2F065QQ31
