特許
J-GLOBAL ID：200903021773780555
移載機用ティーチングデータの取得方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
守山 辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-331599
公開番号（公開出願番号）：特開平10-156773
出願日： 1996年11月27日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：
【要約】【課題】 移載機の駆動に使用するティーチングデータの取得におけるデータ精度を高める。そのティーチング精度を高める。従来システムとの互換性を持たせる。【解決手段】 作業者が治具21を装填溝8に装填する。治具21のボート柱2aに対するスキ間を調整する。移載機4を動作の基準位置に固定した状態で、治具21の位置をセンサ10で検知し、得られた位置データをメモリ14に格納する。このとき、センサ10で検出した位置データについて補正処理する。まず、初期データLa0,Lb0を読み込む。次に、実プロセスの前の所定温度でのセンサ10出力電圧La1,Lb1を読み込む。不変距離の差値(Δ=La1-La0)を算出する。Lb1を補正する(Lb2=Lb1+Δ)。Lb2がティーチングデータとなる。実プロセスでは、このデータをコントローラ7に出力し、移載機4を動作させる。
請求項（抜粋）：
半導体製造装置の基板装填位置に基板を移載する移載機にあって、この基板装填位置に対する移載機の基板移載時の位置を示す位置データを、検知手段により検出し、この位置データに基づいて移載機の基板移載時のティーチングデータを取得する移載機用ティーチングデータの取得方法において、上記検知手段の配設位置の温度に基づいて上記検知手段が検出した位置データを補正することにより、上記ティーチングデータを取得することを特徴とする移載機用ティーチングデータの取得方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B25J 9/22 Z
, H01L 21/68 A
