特許
J-GLOBAL ID：200903021774690274
表面の光熱的検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 朝道
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-516452
公開番号（公開出願番号）：特表平9-506700
出願日： 1994年12月07日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】移動される被検体(2)の表面(1)の光熱的検査装置において、被検範囲(13)に励起光(5)を投射する。励起光(5)は、開口(12)において、測定範囲(14)に形成された熱線(16)を結像する集光レンズ(11)を通過する。集光レンズ(11)は、検知器(20)に供給される熱線の波長に適合される。励起光(5)の光路に設置された入射ミラー(9)は、励起光(5)の波長について実質的に完全な反射能を有し、励起光(5)の焦点範囲の近傍に設けるので、極めて小さく、集光レンズ(11)の開口(12)とともに、検知器(20)に供給される熱線(17)の僅かな部分のみを遮蔽する。変形例の場合、励起光(5)は、熱線を方向変更する分離ミラーの開口を経て表面(1)に入射し、一方、熱線の本質的に全強度が、適合した反射能を有する分離ミラーを介して検知器(20)に供給される。
請求項（抜粋）：
強度変調された励起光(5)を形成できる照明装置(4)と、表面(1)の被検範囲(13)に励起光(5)を投射し、検知器(20)の直接的視野に対して拡大した角度範囲(15)において検知器(20)に測定範囲(14)から放出される熱線(16)を供給できる光学装置とを有する、特に移動される被検体(2)の表面(1)の光熱的検査装置であって、該光学装置が、励起光(5)および検知器(20)に供給される熱線(16)を同軸に配列する反射面を有する反射装置と、表面(1)と検知器(20)との間に配置され結像装置の焦点範囲にある測定範囲(14)からの熱線(16)を捕集する結像装置とを有する形式のものにおいて、 光学装置が、励起光(5)のみを受光するフォーカシング装置(8)を有し、 反射装置(9,21)の反射面(10,23)が、1つの光線ないし放射(5;16,17)について最適な反射能を有し、別の光線ないし放射(16,17;5)が、該別の光線ないし放射(16,17;5)について実質上完全に透過性の範囲をほぼロスなく通過し、 結像装置(11)が、共心の励起光(5)を通過させる開口(12)を有し、 フォーカシング装置(8)の焦点範囲が、表面(1)とフォーカシング装置(8)との間にあり、励起光(5)が、表面(1)に分散入射し、被検範囲(13)が、測定範囲(14)よりも大きいことを特徴とする装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 25/72 Z
, G01N 21/71
