特許
J-GLOBAL ID：200903021788718171
位置検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-283165
公開番号（公開出願番号）：特開平9-126720
出願日： 1995年10月31日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 干渉計を用いて光学的に検出対象の位置を検出する位置検出装置において、外乱光、温度変化、気圧変化の影響を受けにくく高精度で位置を検出できる位置検出装置を実現する。【解決手段】 本体部4において、位相板41には干渉縞の配列方向に沿ってP/4ずつ位相をずらして第1乃至第4の透光スリットが形成されていて、干渉縞が生成される位置に配置されている。4分割フォトダイオード42は位相板41を通過した光を検出し、検出光量に応じた電気信号を出力するする。演算手段43はP/2ピッチ位相が異なる受光手段の出力信号どうしを減算し、減算信号から検出対象の位置を算出する。また、2つの減算信号の位相関係から検出対象の移動方向を判別する。温度センサ441〜443及び圧力センサ45を用いて位置算出の補正演算を行う。スケーリング演算手段47はスケーリング演算を行い、位置検出装置が検出した移動量と位置制御装置が制御する移動量を整合する。
請求項（抜粋）：
干渉計を用いて光学的に検出対象の位置を検出する位置検出装置において、レーザ光源と、このレーザ光源の出射光を2方向に分岐する分岐手段と、前記検出対象とともに移動し、前記分岐手段で分岐された光の一方を受け、受けた光を分岐手段へ戻す第1の光学手段と、位置が固定されていて、分岐手段で分岐された光の他方を受け、受けた光を分岐手段へ戻す第2の光学手段と、前記第1の光学手段及び第2の光学手段により分岐手段へ戻された光どうしが干渉して干渉縞が生じる位置に配置され、第1乃至第4の透光スリットが形成されていて、これらの透光スリットは干渉縞の配列方向に沿ってピッチP(Pは干渉縞のピッチ)で配列され、前記第1の透光スリットに対して前記第2の透光スリット、第3の透光スリット及び第4の透光スリットは位相がそれぞれP/4、P/2及び3P/4だけずれている位相板と、前記第1の透光スリット、第2の透光スリット、第3の透光スリット及び第4の透光スリットの通過光を検出し、検出光量に応じた電気信号を出力する第1の受光手段、第2の受光手段、第3の受光手段及び第4の受光手段と、(第1の受光手段の出力信号)-(第3の受光手段の出力信号)、(第2の受光手段の出力信号)-(第4の受光手段の出力信号)なる減算を行う減算手段、2つの減算信号を所定のしきい値と比較して2つのパルス信号に変換するコンパレータ、このコンパレータで変換した2つのパルス信号の位相関係から検出対象の移動方向を判別する方向判別手段、及び、この方向判別手段の判別結果に応じて前記パルス信号のパルス数をアップカウントまたはダウンカウントをするアップダウンカウンタを有する演算手段と、を具備したことを特徴とする位置検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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