高分解能電子エネルギー分析器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-052402
公開番号（公開出願番号）：特開2003-257361
出願日： 2002年02月27日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：

【要約】【課題】分析器本体の回転が不要で、高い角度分解能と大きな取込み角をもつ電子エネルギー分析器を実現する。【解決手段】円筒形の電子補集レンズ、円錐形の偏向電極、及び回転式の位置敏感型電子増倍板で電子エネルギー分析器を構成し、円錐形の偏向電極は、2枚の円錐状偏向電極で構成され、内側の円錐状偏向電極には電子の入口スリット及び出口スリットが開口されている。回転式の位置敏感型電子増倍板はシールド箱に収納配置され、ウオーム歯車の回転により、旋回心軸を中心にシールド箱を回転させる。下部のガスセルで試料をイオン化し、放出された電子は円筒形の電子捕集レンズ、2枚の円錐状偏向電極間を通過し、特定のエネルギーをもつ電子が選別され、出口スリットを出たのちシールド箱内の位置敏感型電子増倍板によって検出される。

請求項（抜粋）：

試料のイオン化を行なうセルと、円筒形の電子補集レンズと、円錐形の偏向電極及び回転式の位置敏感型電子増倍板で構成されることを特徴とする高分解能電子エネルギー分析器。

IPC (2件)：

H01J 49/48 , G01N 27/62

FI (2件)：

H01J 49/48 , G01N 27/62 G

Fターム (2件)：

5C038KK08 , 5C038KK17

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平4-026045
特開平2-106864
特開昭63-126149

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審査官引用 (5件)

特開平4-026045
特開平2-106864
特開昭63-126149

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