特許
J-GLOBAL ID：200903021794111009
回折格子の測定装置及び回折格子の測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
三好 秀和
, 高橋 俊一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-255112
公開番号（公開出願番号）：特開2008-077741
出願日： 2006年09月20日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：
【課題】簡易、かつ、小型な構成でありながら、回折格子における回折角及び強度分岐比の正確な測定が可能であり、また、回折格子における各回折光が接近し重なっている場合であっても、簡単な手法によって、迅速に数個の分布関数に分離することができる回折格子の測定装置及び測定方法を提供する。【解決手段】回折格子1を経た光束の2次元輝度分布情報を取得する撮像手段3と、撮像手段3によって得られた2次元輝度分布情報に基づいて回折格子1による回折方向の輝度分布と回折方向に直交する方向の輝度分布とを分離し回折方向に直交する方向の輝度分布によって回折格子による各回折光の光束幅に関するパラメータを決定する手段4と、回折方向の輝度分布と決定されたパラメータとによって回折格子1による各回折光成分を分離する手段4とを備えた。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
回折格子における回折角及び強度分岐比を測定する回折格子の測定装置であって、
前記回折格子を経た光束の2次元輝度分布情報を取得する撮像手段と、
前記撮像手段によって得られた2次元輝度分布情報に基づいて、前記回折格子による回折方向の輝度分布と、前記回折方向に直交する方向の輝度分布とを分離し、前記回折方向に直交する方向の輝度分布によって、前記回折格子による各回折光の光束幅に関するパラメータを決定する手段と、
前記回折方向の輝度分布と前記パラメータとによって、前記回折格子による各回折光成分を分離する手段と
を備えたことを特徴とする回折格子の測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
2H049AA03
, 2H049AA13
, 2H049AA31
, 2H049AA51
, 2H049AA57
, 5D789AA38
, 5D789BA01
, 5D789EC39
, 5D789JA22
, 5D789NA02
, 5D789NA05
