特許

J-GLOBAL ID：200903021795574207

ダイヤモンド基板及びダイヤモンド基板の評価方法並びにダイヤモンド表面弾性波フィルタ

発明者： 藤井 知 ,  関 裕一郎 ,  吉田 健太郎 ,  中幡 英章 ,  桧垣 賢次郎 ,  北林 弘之 ,  上村 智喜 ,  鹿田 真一
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-290262
公開番号（公開出願番号）：特開平11-116387
出願日： 1997年10月06日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】【課題】 ダイヤモンドの上に圧電体、櫛形電極を形成した表面弾性波フィルタは高い周波数信号を扱えるがダイヤモンド表面の微小な欠陥の為に伝達損失が大きい。ダイヤモンド表面の評価は顕微鏡によっていたので時間が掛かる。大面積の評価ができる方法をあたえその方法によって表面弾性波フィルタに適するダイヤモンド品質を定義する。【解決手段】 ダイヤモンドの上に薄い金属膜を被覆しレーザ走査型表面欠陥装置によって斜めから検査光を照射し散乱光の強度から欠陥の存在を求める。表面欠陥数300個/cm2 以下であるダイヤモンドを使用する。好ましくは表面粗さRaが20nm以下であるものを選ぶ。そのようなダイヤモンドの上に圧電体膜、櫛形電極を形成することによって伝達損失の小さい表面弾性波フィルタを作る事ができる。

請求項（抜粋）：

高圧合成法又は気相合成法によって製造された単体の単結晶又は多結晶ダイヤモンド板、あるいはダイヤモンド板又は他の材料の板の上に気相合成法によって単結晶又は多結晶ダイヤモンド薄膜として形成されたダイヤモンド板であって、薄い被覆材料をダイヤモンド面上に被覆し検査光を当て被覆材料表面及び被覆材料とダイヤモンドの境界で検査光を反射させ表面欠陥によって散乱された検査光を測定する事によって求めた表面欠陥密度が300個/cm2以下であることを特徴とするダイヤモンド基板。

IPC (4件)：

C30B 29/04 ,  H01L 41/09 ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25

FI (4件)：

C30B 29/04 W ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25 C ,  H01L 41/08 C