特許

J-GLOBAL ID：200903021796132259

走査型プローブ顕微鏡、その光軸調整方法、および光軸調整用補助具

発明者： 森本 高史
出願人/特許権者： 日立建機株式会社
代理人 (1件)： 田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-139326
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329772
出願日： 1999年05月19日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】カンチレバーの背面を利用して構成される光テコ式の光学式変位検出系を備えた走査型プローブ顕微鏡でカンチレバーの背面での光軸設定を容易に行える光軸調整方法、この光軸調整法に適した光軸調整用補助具、およびこの光軸調整の構成を有する走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】着脱自在なカンチレバー101とカンチレバー背面を利用して構成される光学式変位検出系107,108を備える走査型プローブ顕微鏡で光学式変位検出系のカンチレバーでの光軸調整方法であり、カンチレバーの代わりにカンチレバーの背面の面積よりも広い照射面11aを有するレーザ光観察部材11を、カンチレバーの取付け位置と同位置に取付け、レーザ光観察部材の照射面を光学顕微鏡110で観察し、光学顕微鏡の観察視野内でレーザ光観察部材の照射面に照射された検出光のスポットを基準位置に移動させる方法である。

請求項（抜粋）：

着脱自在なカンチレバーとこのカンチレバーの背面を利用して構成される光学式変位検出系を備える走査型プローブ顕微鏡で、前記光学式変位検出系の前記カンチレバーでの光軸調整方法であり、前記カンチレバーの代わりに前記カンチレバーの前記背面の面積よりも広い照射面を有する検出光観察部材を、前記カンチレバーの背面と同一傾斜平面に取付ける段階と、前記検出光観察部材の前記照射面を光学顕微鏡で観察する段階と、前記光学顕微鏡の観察視野内で前記検出光観察部材の前記照射面に照射された前記検出光のスポットを基準位置に移動させる段階と、からなることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の光軸調整方法。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G12B 1/00 601

FI (3件)：

G01N 37/00 A ,  G01B 21/30 Z ,  G12B 1/00 601 D

Fターム (15件)：

2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069DD15 ,  2F069DD25 ,  2F069DD30 ,  2F069FF00 ,  2F069FF07 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069HH05 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069LL10 ,  2F069RR05