特許
J-GLOBAL ID：200903021798829362
静電アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 村松 貞男
, 風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-035342
公開番号（公開出願番号）：特開2005-229707
出願日： 2004年02月12日
公開日（公表日）： 2005年08月25日
要約：
【課題】静電アクチュエータの移動子と固定子の密着状態を簡潔な構成で回避し、駆動効率を向上すること。【解決手段】複数の駆動電極12を有する固定基板16と、上記固定基板上に配置され、上記駆動電極との間に生じる静電気力によって上記固定基板に対し相対移動する可動子18とによって構成される静電アクチュエータにおいて、上記可動子側にエレクトレット20を配置し、該エレクトレット20に対向して別のエレクトレット20を配置して、両エレクトレット20間に生じる静電気力によって、上記可動子と上記固定基板との間に作用する摩擦を低減させる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数の駆動電極を有する固定基板と、
上記固定基板上に配置され、上記駆動電極との間に生じる静電気力によって上記固定基板に対し相対移動する可動子と、
によって構成される静電アクチュエータにおいて、
上記可動子側に配置された第1のエレクトレットと、上記第1のエレクトレットに対向して配置された第2のエレクトレットとを有し、上記第1のエレクトレットと上記第2のエレクトレットとの間に生じる静電気力によって、上記可動子と上記固定基板との間に作用する摩擦を低減させることを特徴とする静電アクチュエータ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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