特許

J-GLOBAL ID：200903021804286724

多関節型基板搬送ロボット

発明者： 小泉 敏行 ,  末代 政輔
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-142473
公開番号（公開出願番号）：特開平8-309681
出願日： 1995年05月17日
公開日（公表日）： 1996年11月26日
要約：

【要約】[目的] 真空下に高温で使用される基板搬送ロボットにおいて、アームを屈伸させるタイミングベルトに切断などのトラブルを発生しない基板搬送ロボットを提供すること。[構成] 三関節型基板搬送ロボット10において、第1アーム11、第2アーム21、ハンド31を屈伸させるための第1タイミングベルト19、第2タイミングベルト29が巻装される軸の軸間距離を規定している第1アーム11、および第2アーム21をチタン材で作製する。

請求項（抜粋）：

旋回のための旋回軸と、該旋回軸を基準点とする直動のための関節として働く少なくとも第1アームと第2アーム、及びその先端のハンドとからなり、前記第1アームはその一端部が前記旋回軸内に固定された直動用モータから前記旋回軸端部の外方まで延在する第1アーム回転軸の端部に固定されて回転し、かつその他端部には第1固定軸が立てられており、前記第2アームはその一端部において前記第1固定軸と同軸に回転する軸としての第2アーム回転軸と前記旋回軸との間に第1タイミングベルトが巻装されて前記第1固定軸の周囲を前記第1アームとは反対方向に回転され、かつその他端部には第2固定軸が立てられており、前記ハンドはその一端部において前記第2固定軸と同軸に回転する軸としてのハンド回転軸と前記第1固定軸との間に第2タイミングベルトが巻装されて前記第2固定軸の周囲を前記第2アームとは反対方向に回転される真空処理装置装置用の多関節型基板搬送ロボットにおいて、少なくとも前記第1アームにおける前記旋回軸と前記第1固定軸との軸間距離を規定する部分と、前記第2アームにおける前記第1固定軸と前記第2固定軸との軸間距離を規定する部分とがチタンで作製されていることを特徴とする真空処理装置用の多関節型基板搬送ロボット。

IPC (2件)：

B25J 9/06 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

B25J 9/06 D ,  H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 2軸独立駆動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-229856   出願人：光洋精工株式会社
• 特開昭63-084762
  
• 特開平1-157547
  
• 特開平3-221393