特許

J-GLOBAL ID：200903021808722421

排気除害システム

発明者： 小松 一茂
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-219518
公開番号（公開出願番号）：特開平6-063335
出願日： 1992年08月19日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：

【要約】【目的】 本発明は,半導体製造装置から排出される排気の除害を行う排気除害システムに関し,並流・湿式除害器と向流・湿式除害器の各々の特徴を活かし,弱点を補い,且つ,コンパクトな直後処理排気除害システムを提供することを目的とする。【構成】 排気に含まれる有害成分をそれぞれ除去するための並流・湿式除害器1を前段に, 向流・湿式除害器20を後段に, 直列に配した排気除害システムであって, 向流・湿式除害器20の上部に洗浄液5を補給する洗浄液補給口22を, 向流・湿式除害器20の下部に洗浄液6を回収する洗浄液回収タンク2を設け, 更に,洗浄液回収タンク2から洗浄液循環ポンプ3により, 洗浄液5を並流・湿式除害器1に循環供給する機能を有するように構成する。

請求項（抜粋）：

排気に含まれる有害成分をそれぞれ除去するための並流・湿式除害器(1) を前段に, 向流・湿式除害器(20)を後段に, 直列に配した排気除害システムであって,該向流・湿式除害器(20)の上部に洗浄液(5) を補給する洗浄液補給口(22)を,また, 該向流・湿式除害器(20)の下部に該洗浄液(5) を回収する洗浄液回収タンク(2) を設け, 更に, 洗浄液回収タンク(2) から洗浄液循環ポンプ(3) により,該洗浄液(5) を並流・湿式除害器(1) に循環供給する機能を有することを特徴とする排気除害システム。

IPC (3件)：

B01D 47/06 ,  B01D 50/00 ,  H01L 21/304 341