特許

J-GLOBAL ID：200903021811029087

単結晶体の製造装置

発明者： 中静 恒夫 ,  高尾 滋良 ,  小島 清
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社 ,  ニッテツ電子株式会社
代理人 (1件)： 八田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-189600
公開番号（公開出願番号）：特開平8-059388
出願日： 1994年08月11日
公開日（公表日）： 1996年03月05日
要約：

【要約】【目的】 高品質の単結晶体を製造する。【構成】 漏斗状のボード30の傾斜壁30bの下端部と上端部にそれぞれ第1熱電対35aと第2熱電対35bを取り付ける。熱電対35aによって検出される温度が一定となるように駆動装置40を制御してメルト位置を一定にし、第1熱電対35aと第2熱電対35bによって検出される温度の温度差に応じてアルゴンガス供給装置45からのアルゴンガスの吐出量を制御する。

請求項（抜粋）：

駆動装置(40)により上下動可能に支持されるるつぼ(5)と、当該るつぼに収容されている融液から引き上げられる単結晶体(S)の周面に沿って設けられる輻射スクリーン(30)と、当該融液からの輻射熱を検出するべく当該輻射スクリーンに配設される温度検出手段(35a)と、当該温度検出手段によって検出される前記融液からの輻射熱を一定に維持すべく前記駆動装置を制御して、前記るつぼの融液面の液面位置を調整する液面位置調整手段(40,50)とを有することを特徴とする単結晶体の製造装置。

IPC (3件)：

C30B 15/20 ,  C30B 15/00 ,  C30B 29/06 502