特許

J-GLOBAL ID：200903021818103827

加速度センサ

発明者： 久保田 正則 ,  鈴政 政善 ,  松本 昌大
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-099280
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340958
出願日： 1991年04月30日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】 移動体の車両制御システムに適用され、加速度を精度良く検出でき、零点調整と感度調整を簡易に行える。また、検出加速度に対してスパンを変更でき、感度の基本出力特性を選択できる。1つの加速度センサで、複数種類の加速度の検出に対処する。調整はオンチップトリミングで行う。【構成】 加速度検出処理回路において、感度調整部と零点調整部を備えると共に、感度の基本出力特性(検出加速度の感度スパン)を変更できる調整部を備える。これらは複数の抵抗とスイッチの組み合わせで構成され、スイッチのオン・オフ動作は、外部よりオンチップトリミングで行えるように構成する。

請求項（抜粋）：

加速度に対応して変位する可動電極とこの可動電極の両側で可動電極に対向して配置される固定電極を含む加速度検出素子と、この加速度検出素子の出力する信号を処理する加速度検出処理回路とからなる加速度センサにおいて、前記加速度検出処理回路は、第1の切換手段と第2の切換手段を含み且つ前記可動電極の変位に対応して変化する前記加速度検出素子で設定された容量情報を取り出す容量情報検出手段と、この容量情報検出手段の出力信号に基づき前記加速度検出素子の前記可動電極を静電サーボ制御するための第1のパルス波形信号を生成して2つの前記固定電極のそれぞれに与えるパルス幅変調手段と、前記第1のパルス波形信号に同期した第2のパルス波形信号で前記第1及び第2の切換手段の切換動作を行う切換実行手段と、前記第1のパルス波形信号をアナログの出力信号に変換する変換手段と、前記出力信号を所定特性に調整する出力調整手段を含むことを特徴とする加速度センサ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-253657
  
• 特開昭53-134474
  
• 特開平2-110383
  
• 特開昭58-010661