特許

J-GLOBAL ID：200903021819907849

超真空用材料及びその製造方法

発明者： 植松 美博 ,  平松 直人 ,  藤本 延和 ,  末光 眞希
出願人/特許権者： 日新製鋼株式会社
代理人 (1件)： 小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-207758
公開番号（公開出願番号）：特開平7-060099
出願日： 1993年08月23日
公開日（公表日）： 1995年03月07日
要約：

【要約】【目的】 超真空で使用される真空容器や配管,バルブ等の付帯機器として使用される材料を得る。【構成】 1〜6重量%のAlを含むステンレス鋼の表面に、基材内部からの拡散してきたAlを供給源として10〜150ÅのAl酸化物皮膜を熱処理で形成する。ステンレス鋼は、たとえば酸素分圧0.1Pa以下の不活性雰囲気又は真空雰囲気で熱処理される。熱処理の前又は後に、ステンレス鋼を電解研磨しても良い。【効果】 ステンレス鋼と同等な溶接性及び強靭性をもち、Al系合金に匹敵する低ガス放出率の超真空用材料が得られる。

請求項（抜粋）：

1〜6重量%のAlを含有するステンレス鋼を基材とし、該基材の表面に膜厚10〜150Åの緻密なAl酸化物皮膜が形成されている超真空用材料。