特許

J-GLOBAL ID：200903021821841170

2波長反射防止膜

発明者： 生水 利明
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-237602
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066402
出願日： 1999年08月24日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】 KrFエキシマ・レーザー波長(λ=248nm)及びHe-Neレーザー波長(λ=633nm)の両波長において、それぞれ実用に足りうる充分な反射防止波長幅を有する2波長反射防止膜を提供する。【解決手段】 基板上に設けられ、HfO2及びSc2O3からなる群から選ばれた物質よりなる第1層と、この第1層上に設けられ、MgF2及びSiO2からなる群から選ばれた物質よりなる第2層と、この第2層上に設けられ、Al2O3、LaF3及びNdF3からなる群から選ばれた物質よりなる第3層と、この第3層上に設けられ、MgF2及びSiO2からなる群から選ばれた物質よりなる第4層とを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板上に設けられ、HfO2及びSc2O3からなる群から選ばれた物質よりなる第1層と、この第1層上に設けられ、MgF2及びSiO2からなる群から選ばれた物質よりなる第2層と、この第2層上に設けられ、Al2O3、LaF3及びNdF3からなる群から選ばれた物質よりなる第3層と、この第3層上に設けられ、MgF2及びSiO2からなる群から選ばれた物質よりなる第4層とを有することを特徴とする2波長反射防止膜。

Fターム (4件)：

2K009AA07 ,  2K009BB04 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06