特許
J-GLOBAL ID：200903021823727529
石英ガラスの製造方法及びそれにより製造された 石英ガラス
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-330740
公開番号（公開出願番号）：特開平7-187684
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：
【要約】【目的】 紫外光照射による透過率低下を抑えるのに必要な量の水素分子を含有し、泡・異物・歪・脈理等含まず、光学的に均質で紫外線耐久性を有する石英ガラスの製造方法を提供する。【構成】 「最外部を除く複数の燃焼用リング状管から噴出させる酸素ガス及び水素ガスの割合」を理論当量比及び「最外部の燃焼用リング状管とその内部の燃焼用円状管から噴出させる酸素ガス及び水素ガスの割合」と比較して水素過剰とする。
請求項（抜粋）：
中心部に配置されSi化合物ガスを噴出する原料用円状管と、これの周囲に同心円状に配置され酸素ガスおよび水素ガスを噴出する複数の燃焼用リング状管と、最外部の燃焼用リング状管の内部に配置され酸素を噴出する複数の燃焼用円状管とを有するバーナにより、Si化合物ガスと酸素ガスと水素ガスとを噴出し、ターゲット上に石英ガラス粉を堆積しガラス化させ、インゴットを形成する石英ガラスの製造方法において、「最外部を除く複数の燃焼用リング状管から噴出させる酸素ガスおよび水素ガスの割合」を、理論当量比および「最外部の燃焼用リング状管とその内部の燃焼用円状管から噴出させる酸素ガスおよび水素ガスの割合」と比較して水素過剰とすることを特徴とする石英ガラスの製造方法。
IPC (2件)：
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