特許
J-GLOBAL ID：200903021827895000
積層圧電アクチュエータの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-035935
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252469
出願日： 1993年02月25日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】内部電極導体と外部電極導体とを電気絶縁層で絶縁した型の積層圧電アクチュエータにおいて、焼結体ブロックを切断して積層焼結体を得るときに発生する切断面のマイクロクラックに起因する内部電極導体と外部電極導体との間の絶縁破壊を防ぎ、積層圧電アクチュエータの信頼性を向上させる。【構成】全面に内部電極導体2を被着形成された圧電セラミックシートを複数枚積層し焼結し切断し積層焼結体12とした後、内部電極導体2が露出した四側面のうち対向する二側面のマイクロクラック3を含んだ切断加工層4を、研磨により除去するか、又は、積層焼結体12を熱処理することにより、切断加工層4中のマイクロクラック3を修復した後、内部電極導体2の露出部とその近傍のセラミック5上に電気絶縁層1を一層おきに互い違いに設け、さらにその二側面上に導電性の外部電極導体を形成する。
請求項（抜粋）：
一方の面の全体に導電性の内部電極導体層が形成された圧電効果を示すセラミックシートを複数枚積層し、焼結して、焼結体ブロックを形成する工程と、前記焼結体ブロックを切断して積層焼結体を切り出す工程と、前記積層焼結体の前記内部電極導体層が露出する四側面のうちの互いに対向する二側面に、前記内部電極導体層の露出部とその近傍のセラミック上に一層置きに互い違いに電気絶縁層を設ける工程と、前記電気絶縁層が設けられた前記二側面のそれぞれに、外部電極導体層を設ける工程とを含む積層圧電アクチュエータの製造方法において、前記電気絶縁層を設ける工程の前に、前記積層焼結体の前記電気絶縁層が設けられるべき二側面を研磨する工程を含むことを特徴とする積層圧電アクチュエータの製造方法。
IPC (3件)：
H01L 41/24
, H01L 41/04
, H01L 41/09
H01L 41/22 Z
, H01L 41/08 S
