特許

J-GLOBAL ID：200903021835946994

原子間力顕微鏡用カンチレバー装置

発明者： 広瀬 幸範 ,  片山 俊治 ,  伊藤 由紀 ,  本田 和仁
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-286318
公開番号（公開出願番号）：特開平6-137855
出願日： 1992年10月23日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】 原子間力顕微鏡(AFM)用カンチレバー装置を高分解能で安定した像が得られるようにする。【構成】 原子間力顕微鏡用のカンチレバー2の背面に金属膜4を形成し、温度コントローラー5によりその金属膜4に電流を流して、カンチレバー2の温度を制御する。【効果】 高分解能で安定したAFM像を得ることができる。

請求項（抜粋）：

カンチレバーの背面に形成した金属膜に電流を流すことにより前記カンチレバーの温度を制御する温度制御手段を備えたことを特徴とする原子間力顕微鏡用カンチレバー装置。