特許

J-GLOBAL ID：200903021841476533

マイクロミラーアレイとその製造方法及び光電変換装置

発明者： 大谷 智彦
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-332235
公開番号（公開出願番号）：特開平8-167725
出願日： 1994年12月13日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】 入射するさまざまな方向からの光のうち、受光部に対して垂直方向からの入射光のみを取り込むことができるマイクロミラーアレイを提供する。【構成】 ガラス基板11上のシリコン窒化膜12に凹部12Aを形成し、この凹部12A内面に光反射膜14を形成し、凹部12Aの底部の光反射膜14を除去して光透過部14Aを形成する。このよう形成することにより、マイクロミラーアレイ17に対して斜め方向から入射した光が光反射膜14で反射されることにより、光透過部14Aを通過しないようにすることができる。

請求項（抜粋）：

アレイ基板の一側面に湾曲された凹部が配列されると共に、前記凹部の底に前記一側面側から他面側に光を透過させる光透過部を有し、かつ、前記凹部内面の前記光透過部以外の面に光反射膜を形成し、前記反射膜は、前記アレイ基板に対しほぼ垂直方向からの光を反射させて前記光透過部に透過させ、前記光以外の方向からの光を反射させ、前記光透過部を透過させないことを特徴とするマイクロミラーアレイ。

IPC (4件)：

H01L 31/0232 ,  G02B 5/10 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/10

FI (3件)：

H01L 31/02 D ,  H01L 27/14 D ,  H01L 31/10 E