特許

J-GLOBAL ID：200903021853132910

アルミニウム薄膜ミラー及び光学部品

発明者： 山本 裕之
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-142086
公開番号（公開出願番号）：特開2002-341117
出願日： 2001年05月11日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】 微小な光学部品においては、ミラーを所望の領域のみに形成する場合があるが、表面荒れを抑制する効果のあるAl合金薄膜で形成したミラーの場合、不要な部分をエッチング除去すると添加された材料の微粒子が残渣となって表面に残ることがあり、ミラー領域に隣接した光透過領域での光透過率の低下を引き起こすことがあった。【解決手段】 Al薄膜ミラーを最下層の純Al層とその上のAl合金層とからなる積層体とし、これにより光学部品を構成する。

請求項（抜粋）：

所望の表面形状を有する基材と、該基材の表面に設けられた複数の材料の積層体からなる高反射率材料被膜とで構成され、該高反射率材料被膜の最下層がアルミニウムからなり、かつ最表面がアルミニウムとアルミニウムと合金化しうる材料とからなることを特徴とするアルミニウム薄膜ミラー。

IPC (3件)：

G02B 5/08 ,  B32B 15/01 ,  B32B 15/20

FI (3件)：

G02B 5/08 A ,  B32B 15/01 Z ,  B32B 15/20

Fターム (24件)：

2H042DA02 ,  2H042DA07 ,  2H042DA11 ,  2H042DA12 ,  2H042DA16 ,  2H042DA22 ,  4F100AB10B ,  4F100AB10C ,  4F100AB11C ,  4F100AB17C ,  4F100AB31C ,  4F100AG00 ,  4F100AK01 ,  4F100AT00A ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100EH66 ,  4F100EH662 ,  4F100GB51 ,  4F100GB90 ,  4F100JN06 ,  4F100YY00C