エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：芝野正雅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-198923
公開番号（公開出願番号）：特開2003-017255
出願日： 2001年06月29日
公開日（公表日）： 2003年01月17日
要約：

【要約】【課題】マスクを介してエレクトロルミネッセンス素子を形成するに際し、マスクと基板との位置合わせをより好適に行うことのできるエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】ガラス基板1は、エレクトロルミネッセンス素子を構成する発光層の蒸着形成される面が鉛直下方に向けられて真空チャンバ内に挿入される。同真空チャンバ内には、マスク30が配置されている。このマスク30の開口部を介して上記発光層の材料がガラス基板1に付着形成されることで、発光層が付着形成される。同ガラス基板1とマスク30との位置合わせに際して、ガラス基板1は、その上面が静電吸着装置60によって支持される。

請求項（抜粋）：

基板と該基板の下方に配置されたマスクとを位置合わせし、エレクトロルミネッセンス素子材料を前記マスクを介して前記基板に付着形成して表示装置の表示部を形成するエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法であって、前記基板の上面を吸着支持しつつ前記位置合わせを行うことを特徴とするエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。

IPC (7件)：

H05B 33/10 , C23C 14/50 , G09F 9/00 338 , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 365 , H05B 33/12 , H05B 33/14

FI (7件)：

H05B 33/10 , C23C 14/50 A , G09F 9/00 338 , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 365 Z , H05B 33/12 B , H05B 33/14 A

Fターム (49件)：

3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007BB07 , 3K007CA01 , 3K007CB01 , 3K007DA01 , 3K007DB03 , 3K007EB00 , 3K007FA01 , 4K029BC07 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029HA04 , 4K029JA05 , 5C094AA05 , 5C094AA08 , 5C094AA43 , 5C094AA46 , 5C094AA48 , 5C094AA55 , 5C094BA03 , 5C094BA12 , 5C094BA27 , 5C094CA19 , 5C094CA24 , 5C094DA09 , 5C094DA13 , 5C094DB01 , 5C094DB04 , 5C094EA04 , 5C094EA05 , 5C094EA07 , 5C094EB02 , 5C094FB01 , 5C094FB12 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5C094FB20 , 5C094GB10 , 5G435AA04 , 5G435AA17 , 5G435BB05 , 5G435CC09 , 5G435EE37 , 5G435HH12 , 5G435HH13 , 5G435HH14 , 5G435KK05 , 5G435KK10

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