特許
J-GLOBAL ID：200903021859677226
ペリクルフレームの製造方法およびペリクル
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-381168
公開番号（公開出願番号）：特開2003-186180
出願日： 2001年12月14日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：
【要約】【課題】石英ガラスを基材としたペリクルフレームの製造方法において上下面の平坦度、平行度の高いものを効率的に得る。【解決手段】ペリクルフレーム外形の大きさ以上の外形寸法と、ペリクルフレームの高さ以上の厚みとを有する石英ガラス板を準備する準備工程と、石英ガラス板を両面研磨する研磨工程と、研磨後の石英ガラス板から枠状体を加工する枠体加工工程と、を含むことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ペリクルフレームの製造方法であって、ペリクルフレーム外形の大きさ以上の外形寸法と、ペリクルフレームの高さ以上の厚みとを有する石英ガラス板を準備する準備工程と、石英ガラス板を両面研磨する研磨工程と、研磨後の石英ガラス板から枠状体を加工する枠体加工工程と、を含むことを特徴とするペリクルフレームの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 K
, H01L 21/30 502 P
