液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：谷義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-140682
公開番号（公開出願番号）：特開平5-330068
出願日： 1992年06月01日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：

【要約】【目的】液流路を精度良く正確に、歩留り良く微細加工することのできる液体噴射記録ヘッドを提供する。【構成】液体噴射記録ヘッドは、記録液滴を吐出する吐出エネルギー発生素子が設けられた基板と、基板上に設けられ、かつインク路が形成された熱架橋型ポジ型レジスト材料からなる感光性樹脂層と、感光性樹脂層上に積層された天板とを具備する。

請求項（抜粋）：

記録液滴を吐出する吐出エネルギー発生素子が設けられた基板と、該基板上に設けられ、かつインク路が形成された熱架橋型ポジ型レジスト材料からなる感光性樹脂層と、該感光性樹脂層上に積層された天板とを具備したことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

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