超純水の比抵抗調整方法及びこれを用いた純水製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：赤塚賢次 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-211394
公開番号（公開出願番号）：特開平11-033548
出願日： 1997年07月22日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：

【要約】【課題】炭酸ガスの供給設備の必要がなく、炭酸ガスからの汚染の恐れがなく、長期間安定して一定の比抵抗値に調整可能な超純水の比抵抗調整方法とこれを用いた純水の製造装置を提供すること。【解決手段】15MΩ・cm以上の比抵抗を示す超純水を、炭酸水素イオン形を含む強塩基性陰イオン交換樹脂又はアンモニウム形を含む強酸性陽イオン交換樹脂に接触させて超純水の比抵抗を調整する。

請求項（抜粋）：

15MΩ・cm以上の比抵抗を示す超純水を、炭酸水素イオン形を含む強塩基性陰イオン交換樹脂に接触させることを特徴とする超純水の比抵抗調整方法。

IPC (2件)：

C02F 1/42 , H01L 21/304 341

FI (2件)：

C02F 1/42 B , H01L 21/304 341 S

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭58-007831
特開平2-083926
特開昭60-165726

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