特許
J-GLOBAL ID：200903021885101634
圧電振動角速度計のパッケージ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-113912
公開番号（公開出願番号）：特開平9-297027
出願日： 1996年05月08日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【課題】 振動子が外部環境の影響を受けにくくし、S/N及び測定分解能が高い圧電振動角速度計を提供する。【解決手段】 圧電振動角速度計のパッケージを、振動子を内包する小ケースと、この小ケースと処理回路とを内包する大ケースとの二重構造にすることによって、電磁ノイズ、温度湿度の変化の影響を遮断或いは軽減する。
請求項（抜粋）：
振動子を載置する基板と、前記振動子を内包するように前記基板に取り付けられたカバーとから成る小ケースと、前記小ケースと前記振動子に電気的に接続された処理回路とを載置する台座基板と、前記小ケースと前記処理回路とを内包するように前記台座基板に取り付けられたカバーとから成る大ケースと、によって構成されたことを特徴とする、圧電振動角速度計のパッケージ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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