特許
J-GLOBAL ID：200903021890436067
感光性ガラスの加工方法とそれに使用するフオトマスク
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-255278
公開番号（公開出願番号）：特開平5-097455
出願日： 1991年10月02日
公開日（公表日）： 1993年04月20日
要約：
【要約】【目的】 傾斜面を有する溝や孔などを、1回のエッチングによって容易に加工し、しかも全体がなだらかに連続するように加工する感光性ガラスの加工方法とそれに使用するフォトマスクを提供する。【構成】 A工程では、インクジェットヘッドの流路基板の素材である感光性ガラス板2aの上に、感光性ガラスの露光量を変化させる1つの手段として、溝10の形状に対応して透光量に変化を持たせたパターンが形成してあるフォトマスク9を配置して露光する。これにより感光性ガラス板2aの内部に、パターンに対応する露光量の露光部2bが形成される。B工程では、フォトマスク9を取り外して熱処理を行い、露光部2bを結晶化して傾斜面の傾斜角度に対応して深度が変化した結晶部2cを形成する。最後にC工程で結晶部2cをエッチングすると、浅い溝10a,深い溝10b,傾斜面10c〜10gを有する複雑な形状の溝10が形成される。
請求項（抜粋）：
感光性ガラス板の表面に傾斜面を有する溝又は孔をエッチングにより形成する加工方法であって、形成すべき上記傾斜面の傾斜角度に応じて露光量を変化させる手段を介して上記感光性ガラス板に露光部を形成し、上記露光部を熱処理して上記傾斜面の傾斜角度に対応して深度が変化した結晶部を形成し、上記結晶部をエッチングすることを特徴とする感光性ガラスの加工方法。
IPC (3件)：
C03B 33/00
, B41J 2/16
, C03C 15/00
