特許

J-GLOBAL ID：200903021895016260

マイクロレンズ検査装置

発明者： 松井 正人
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-304632
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142285
出願日： 1997年11月06日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】 マイクロレンズ検査の向上を図ったマイクロレンズ検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】 平行光入射手段11は、マイクロレンズ12に平行光L2を入射する。検査処理手段14は、マイクロレンズ12を透過した透過光L3を取り込んで、透過光L3の測定値からマイクロレンズ12の特定の箇所だけ他よりも有意差をもつ箇所を選別し、不良と判断する。

請求項（抜粋）：

マイクロレンズ形成の検査の向上を図ったマイクロレンズ検査装置において、マイクロレンズに平行光を入射する平行光入射手段と、前記マイクロレンズを透過した透過光を取り込んで、前記透過光の測定値を求め、前記測定値から前記マイクロレンズの特定の箇所だけ他よりも有意差をもつ前記箇所を選別し、不良と判断する検査処理手段と、を有することを特徴とするマイクロレンズ検査装置。

IPC (4件)：

G01M 11/00 ,  G02F 1/1335 ,  G09F 9/00 352 ,  G09F 9/35 302

FI (4件)：

G01M 11/00 L ,  G02F 1/1335 ,  G09F 9/00 352 ,  G09F 9/35 302