SPM装置又はSPMの原理を応用した加工装置・記録再生装置等の位置決め用マーカー及びマーカー検出方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長尾達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-148245
公開番号（公開出願番号）：特開平9-306050
出願日： 1996年05月17日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】本発明は、マーカーを検出する際に、プローブから検出した物理量にある程度のエラーが存在していても、正確にマーカー検出を行うことができるSPM装置又はSPMの原理を応用した加工装置・記録再生装置等の位置決め用マーカー及びマーカー検出方法を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、SPM装置又はSPMの原理を応用した加工装置・記録再生装置等の位置決め用マーカーにおいて、該マーカーはその形状が対称軸に対して線対称であることを特徴とするものであり、そのマーカー検出法は、マーカー上を直線状に走査し、前記プローブから検出した物理量の検出波形が対称になる点から前記走査の軌跡が前記対称軸を横切る点を求めることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

SPM装置又はSPMの原理を応用した加工装置・記録再生装置等の位置決め用マーカーにおいて、該マーカーはその形状が対称軸に対して線対称であることを特徴とするマーカー。

IPC (3件)：

G11B 9/00 , G01B 21/30 , G01N 37/00

FI (3件)：

G11B 9/00 , G01B 21/30 Z , G01N 37/00 A

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