照度測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸島儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-076523
公開番号（公開出願番号）：特開平9-270374
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：

【要約】【課題】実際に露光に用いるレチクルで、直接的にゴーストの分布を測定すること。【解決手段】実際の露光に用いるレチクル23が装着された状態でウエハ面上の照度を複数の方法によって測定し、その測定値からレチクル23によって生ずるゴーストの分布を求める。

請求項（抜粋）：

レチクルに形成されたパターンをウエハに転写する露光装置のウエハ面上の照度を測定する照度測定方法において、実際の露光に用いるレチクルが装着された状態でウエハ面上の照度を複数の方法によって測定し、該複数の方法により測定された測定値から前記レチクルによって生ずるゴーストの分布を求めることを特徴とする照度測定方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G01N 21/01 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 516 C , G01N 21/01 Z , G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (4件)

照度分布補正機能付き投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-245053 出願人：株式会社ニコン
特開平2-244707
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-286492 出願人：株式会社ニコン

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